Ang halumigmig ay isang pangkaraniwang kondisyon sa pagkontrol sa kapaligiran sa pagpapatakbo ng mga silid na panlinis. Ang target na halaga ng relative humidity sa semiconductor clean room ay kinokontrol na nasa hanay na 30 hanggang 50%, na nagbibigay-daan sa error na nasa loob ng isang makitid na hanay na ±1%, tulad ng isang photolithographic area - o kahit na mas maliit sa malayong ultraviolet processing (DUV) na lugar. – Sa ibang mga lugar, maaari kang mag-relax sa loob ng ±5%.
Dahil ang relatibong halumigmig ay may ilang salik na maaaring mag-ambag sa pangkalahatang pagganap ng malinis na silid, kabilang ang:
● paglaki ng bacterial;
● Ang hanay ng kaginhawaan na nararamdaman ng staff sa temperatura ng silid;
● Lumilitaw ang static charge;
● kaagnasan ng metal;
● Pagkondensasyon ng singaw ng tubig;
● pagkasira ng lithography;
● Pagsipsip ng tubig.
Ang bakterya at iba pang biological contaminants (amag, virus, fungi, mites) ay maaaring aktibong dumami sa mga kapaligiran na may humidity na higit sa 60%. Ang ilang mga flora ay maaaring lumago kapag ang relatibong halumigmig ay lumampas sa 30%. Kapag ang relatibong halumigmig ay nasa pagitan ng 40% at 60%, ang mga epekto ng bakterya at mga impeksyon sa paghinga ay maaaring mabawasan.
Ang relatibong halumigmig sa hanay na 40% hanggang 60% ay isa ring katamtamang hanay kung saan kumportable ang mga tao. Ang labis na halumigmig ay maaaring maging sanhi ng pagkalumbay sa mga tao, habang ang halumigmig na mas mababa sa 30% ay maaaring maging sanhi ng mga tao na makaramdam ng tuyo, putok, paghihirap sa paghinga at emosyonal na kakulangan sa ginhawa.
Ang mataas na kahalumigmigan ay talagang binabawasan ang akumulasyon ng static na singil sa ibabaw ng malinis na silid - ito ang nais na resulta. Ang mas mababang halumigmig ay mas angkop para sa akumulasyon ng singil at isang potensyal na nakakapinsalang pinagmulan ng electrostatic discharge. Kapag ang kamag-anak na halumigmig ay lumampas sa 50%, ang static na singil ay nagsisimulang mabilis na mawala, ngunit kapag ang kamag-anak na halumigmig ay mas mababa sa 30%, maaari silang manatili nang mahabang panahon sa insulator o sa ungrounded surface.
Ang kaugnay na kahalumigmigan sa pagitan ng 35% at 40% ay maaaring maging isang kasiya-siyang kompromiso, at ang mga semiconductor cleanroom ay karaniwang gumagamit ng mga karagdagang kontrol upang limitahan ang akumulasyon ng static na singil.
Ang bilis ng maraming reaksiyong kemikal, kabilang ang proseso ng kaagnasan, ay tataas habang tumataas ang relatibong halumigmig. Ang lahat ng mga ibabaw na nakalantad sa hangin na nakapalibot sa malinis na silid ay mabilis na natatakpan ng hindi bababa sa isang monolayer ng tubig. Kapag ang mga ibabaw na ito ay binubuo ng isang manipis na metal coating na maaaring tumugon sa tubig, ang mataas na kahalumigmigan ay maaaring mapabilis ang reaksyon. Sa kabutihang palad, ang ilang mga metal, tulad ng aluminyo, ay maaaring bumuo ng isang proteksiyon oksido na may tubig at maiwasan ang karagdagang mga reaksyon ng oksihenasyon; ngunit ang isa pang kaso, tulad ng tansong oksido, ay hindi proteksiyon, kaya Sa mga kapaligirang may mataas na kahalumigmigan, ang mga ibabaw ng tanso ay mas madaling kapitan ng kaagnasan.
Bilang karagdagan, sa isang mataas na kamag-anak na kahalumigmigan na kapaligiran, ang photoresist ay pinalawak at pinalala pagkatapos ng baking cycle dahil sa pagsipsip ng kahalumigmigan. Ang photoresist adhesion ay maaari ding negatibong maapektuhan ng mas mataas na relative humidity; Ang mas mababang relatibong halumigmig (mga 30%) ay ginagawang mas madali ang photoresist adhesion, kahit na hindi nangangailangan ng polymeric modifier.
Ang pagkontrol sa relatibong halumigmig sa isang semiconductor clean room ay hindi arbitrary. Gayunpaman, habang nagbabago ang panahon, pinakamahusay na suriin ang mga dahilan at pundasyon ng mga karaniwan, karaniwang tinatanggap na mga kasanayan.
Maaaring hindi partikular na kapansin-pansin ang halumigmig para sa ating kaginhawaan ng tao, ngunit kadalasan ay may malaking epekto ito sa proseso ng produksyon, lalo na kung saan mataas ang halumigmig, at kadalasang ang halumigmig ang pinakamasamang kontrol, kaya naman Sa kontrol ng temperatura at halumigmig ng malinis na silid, mas pinipili ang halumigmig.
Oras ng post: Set-01-2020